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在线式高纯气体露点仪QZ361

简要描述:

ADEV在线式高纯气体露点仪QZ361采用氧化铝、氧化硅合成传感器,专门用于超高纯气体中的ppb含量微量水含量测量,具有响应快,稳定可靠,精确测量灵敏度高,操作简单,维护量低等优点,可应用于气体净化系统、半导体制造,高纯气体、光纤生产,光学涂层过程,电子部件制造和特种气体生产等行业。

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埃登威QZ361高纯气体露点仪采用才氧化铝、氧化硅合成传感器,响应迅速,稳定可靠。专门用于超高纯气体中的ppb含量微量水含量测量。在许多高纯气体的微量水含量测量的应用中,如半导体行业,气体水分含量对于产品工艺及产品质量有着至关重要的影响。QZ361露点仪工业标准的材质和生产过程结合,使得在线式高纯气体露点仪QZ361适合批量应用于半导体制造或超高纯气体管路之中。

QZ361高纯气体露点仪是基于氧化铝氧化硅合成技术,α-阿尔法相、γ-氧化铝二氧化硅混合介质制造工艺采用了前沿的原子层沉积技术。

传感器的工作原理是基于多孔感湿 层对水分子的吸收。绝缘材料层厚度在10纳米到50 微米之间;该吸湿介质敏感材料二氧化硅薄膜厚度在 0.5 纳米到 500 纳米之间厚度。因此,当周围环境的湿度发生变化的时候,传感器对湿度变化会做出极其快速的反应。

QZ361高纯气体露点仪的优点

●  高灵敏度,快速响应

●  精确测量,高稳定性

●  操作简便,维护量低

● 可选择现场显示器

设计优势

● 全新的氧化铝氧化硅传感器

● 高达+/-2℃td 的宽量程精度测量

● 自动加热校准功能

● 超快响应速度及出色的长期稳定性

● 出色的抗干扰能力

● IP65防护等级,即使恶劣的环境下 也能提供良好的保护


技术参数

测试范围-120/-40℃
分辨率0.1
响应时间5分钟到T95(干到湿)
精度±2℃td (-60/-100°C),±4℃td (-100/-120°C)
环境温度-40°C-+70°C
工作环境湿度<100RH,非冷凝
样气温度0-50°C
采样方式通入式或抽气式
样气流量1000-5000mL/min(取样池安装);0-10m/s管道直插式安装
样气压力最高240Bar
排气压力自由排空
背景气体He、H2、CO2、N2、惰性气体等混合气体
输出DP数或ppm值
电源24V
输出信号4-20mA 或RS485
传感器寿命一般6年以上
气路接口¼" 外螺纹或 1/2" 外螺纹VCR 过程连接
重量150G
不锈钢过滤网过滤等级40-50um





















典型应用

气体净化系统

● 半导体制造

● 高纯气体

● 光纤生产

● 光学涂层过程

● 电子部件制造

● 特种气体生产和分配




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