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ProductsADEV在线式高纯气体露点仪QZ361采用氧化铝、氧化硅合成传感器,专门用于超高纯气体中的ppb含量微量水含量测量,具有响应快,稳定可靠,精确测量灵敏度高,操作简单,维护量低等优点,可应用于气体净化系统、半导体制造,高纯气体、光纤生产,光学涂层过程,电子部件制造和特种气体生产等行业。
埃登威QZ361高纯气体露点仪采用才氧化铝、氧化硅合成传感器,响应迅速,稳定可靠。专门用于超高纯气体中的ppb含量微量水含量测量。在许多高纯气体的微量水含量测量的应用中,如半导体行业,气体水分含量对于产品工艺及产品质量有着至关重要的影响。QZ361露点仪工业标准的材质和生产过程结合,使得在线式高纯气体露点仪QZ361适合批量应用于半导体制造或超高纯气体管路之中。 QZ361高纯气体露点仪是基于氧化铝氧化硅合成技术,α-阿尔法相、γ-氧化铝二氧化硅混合介质制造工艺采用了前沿的原子层沉积技术。 传感器的工作原理是基于多孔感湿 层对水分子的吸收。绝缘材料层厚度在10纳米到50 微米之间;该吸湿介质敏感材料二氧化硅薄膜厚度在 0.5 纳米到 500 纳米之间厚度。因此,当周围环境的湿度发生变化的时候,传感器对湿度变化会做出极其快速的反应。 QZ361高纯气体露点仪的优点 ● 高灵敏度,快速响应 ● 精确测量,高稳定性 ● 操作简便,维护量低 ● 可选择现场显示器 设计优势 ● 全新的氧化铝氧化硅传感器 ● 高达+/-2℃td 的宽量程精度测量 ● 自动加热校准功能 ● 超快响应速度及出色的长期稳定性 ● 出色的抗干扰能力 ● IP65防护等级,即使恶劣的环境下 也能提供良好的保护 |
技术参数
测试范围 | -120/-40℃ |
分辨率 | 0.1 |
响应时间 | 5分钟到T95(干到湿) |
精度 | ±2℃td (-60/-100°C),±4℃td (-100/-120°C) |
环境温度 | -40°C-+70°C |
工作环境湿度 | <100RH,非冷凝 |
样气温度 | 0-50°C |
采样方式 | 通入式或抽气式 |
样气流量 | 1000-5000mL/min(取样池安装);0-10m/s管道直插式安装 |
样气压力 | 最高240Bar |
排气压力 | 自由排空 |
背景气体 | He、H2、CO2、N2、惰性气体等混合气体 |
输出 | DP数或ppm值 |
电源 | 24V |
输出信号 | 4-20mA 或RS485 |
传感器寿命 | 一般6年以上 |
气路接口 | ¼" 外螺纹或 1/2" 外螺纹VCR 过程连接 |
重量 | 150G |
不锈钢过滤网 | 过滤等级40-50um |
典型应用
气体净化系统
● 半导体制造
● 高纯气体
● 光纤生产
● 光学涂层过程
● 电子部件制造
● 特种气体生产和分配
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